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공학도서-영문판(Technical Books)
공학도서-일본어판
공학도서-일본어판 > 재료/신소재(Materials)
레지스트 재료·프로세스의 사용법 노하우와 갈등 해결
レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決
발   행   사 : 알앤디지원센터 저       자 :
체         제 : 185 페이지 발  행  일 : 2018-03-20
ISBN/CODE : 수       량 :  
¥48,600 -> 583,200원 Hard Copy Version

정취 취지

20세기 후반 반도체 LSI산업의 급속한 발전에서 포토 레지스트 기술은 기술 혁신을 이끄는 역할을 담당함으로써 비약적인 진보를 이루어 왔다. , 포토 레지스트 재료를 주로 한리소그래피 기술은 장치 제조 프로세스의 첫 공정에 있어 늘 디바이스 설계 기준의 까다로운 요구에 화답했다. 또, 근년 MEMS(Micro Electro MechanicalSystems) IoT(Internet of Things)분야를 위한 개별 반도체 실장 수요가 늘어날 예정이어서 포토 레지스트 재료 품질 향상과 프로세스의 최적화가 새로운 과제다. 실용적인 미세한 방차 패턴 형성 레지스트 재료, 노출, 프로세스, 장치 많은 기술 분야 집적에 의해서 구축고 계속 부식 공정도 고려하면, 이러한 균형적인 운용이 필수적이다. 심지어 이 분야에 종사하는 기술자는 고분자 화학에 시작되고 정밀 제어, 광학, 계면 화학 광범위한 기술 습득이 요구된다. 의해서 어려운 디바이스 제품 규격을 맞출 수 있는 양산 기술 완성하려면 이들의 개별 기술 기초 노하우의 습득 필수적이다. 그러나 최근 전자 산업을 담당하고 온 귀중한 인력 가운데 상당수 퇴직 연령 맞아 포토 레지스트 기술의 계승이 위태롭다. 최근에는 80~90년대에 완성된 기술을 최신 학회 등에서 보고하는 경우도 적지 않게 보인다. 오랜 세월 구축되어 온 많은 기반 기술 젊은 세대 충분히 계승되지 않고 매몰 위기에 처했다. 의해서, 포토 레지스트에 관한 기반 기술과 노하우를 집약한 기능적인 서적에 대한 요구가 필연적으로 높아지고 있다.
이런 배경에서, 본서에서는, 포토 레지스트 기술에 관한 폭넓은 분야를 커버하는 실용서로도 의미 있는 내용을 구성하고 있다.구체적으로는, 포토 레지스트 재료, 프로세스, 평가·해석, 처리 장치,까지 폭넓게 망라하고 패턴 결함 등의 수율 개선과 트러블 대책 필수적인 기술도 포함되어 있으며, 포토 레지스트 재료를 다루는 기술자 도움이 되도록 구성되어 있다.

자동차 안의 쾌적성 향상을 위한 재료 개발과 감성 평가
自動車室内の快適性向上に向けた材料開発と感性評価
발행사 : 기술정보협회 | 발행일 : 2018-04-27 | 가격 : ¥ 80,000 -> 960,000원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 375 페이지 | ISBN/CODE :
웹이송 과정의 제어 기술과 트러블 대책
ウェブ搬送プロセスにおける制御技術とトラブル対策
발행사 : 알앤디지원센터 | 발행일 : 2018-03-30 | 가격 : ¥ 49,680 -> 596,160원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 150 페이지 | ISBN/CODE :
발포 수지, 다공성 수지의 고강도화와 응용 기술 ― 구조 제어/성형 트러블 대책/자동차를 중심으로 한 응용 ―
発泡樹脂、多孔性樹脂の高強度化と応用技術
발행사 : 기술정보협회 | 발행일 : 2018-03-30 | 가격 : ¥ 70,000 -> 840,000원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 378 페이지 | ISBN/CODE :
레지스트 재료·프로세스의 사용법 노하우와 갈등 해결
レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決
발행사 : 알앤디지원센터 | 발행일 : 2018-03-20 | 가격 : ¥ 48,600 -> 583,200원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 185 페이지 | ISBN/CODE :
겔화, 증가 점제의 사용법, 선택 사례집-재생 의료, DDS제, 생체 재료, 식품, 화장품, 흡착 분리제-
ゲル化・増粘剤の使い方、選び方 事例集- 再生医療、DDS製剤、生体材料、食品、化粧品、吸着分離剤 -
발행사 : 기술정보협회 | 발행일 : 2018-02-28 | 가격 : ¥ 80,000 -> 960,000원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 691 페이지 | ISBN/CODE :
종이의 구조와 물성 그 기본~Q&A집부~
紙の構造と物性その基本 ~ Q&A集付 ~
발행사 : 알앤디지원센터 | 발행일 : 2018-02-09 | 가격 : ¥ 32,400 -> 388,800원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 81 페이지 | ISBN/CODE :
수지/섬유 복합 재료의 계면 제어, 성형 가공과 평가 ― 탄소 섬유/유리 섬유/셀룰로오스 나노 섬유 ―
樹脂/繊維複合材料の界面制御、成形加工と評価
발행사 : 기술정보협회 | 발행일 : 2018-01-31 | 가격 : ₩ 80,000 Hard Copy Version ₩ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 500 페이지 | ISBN/CODE :
지혈제·유착 방지제/재생 의료용 발판 재료/DDS용도에 응용 된 생체 흡수성 재료의 개발과 안전성 평가
止血材・癒着防止材/再生医療用足場材料/DDS用途に応用出来る生体吸収性材料の開発と安全性評価
발행사 : 기술정보협회 | 발행일 : 2017-12-27 | 가격 : ¥ 80,000 -> 960,000원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 465 페이지 | ISBN/CODE :
지혈제·유착 방지제/재생 의료용 발판 재료/DDS용도에 응용 된 생체 흡수성 재료의 개발과 안전성 평가
生体吸収性材料の開発と安全性評価
발행사 : 기술정보협회 | 발행일 : 2017-12-27 | 가격 : ¥ 80,000 -> 960,000원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 465 페이지 | ISBN/CODE :
차세대 전지용 전극 재료의 고 에너지 밀도, 고출력화-리튬 과잉계 양극, 삼성 분계 정극, 실리콘계 음극, 포스트 리튬 이온 전지-
次世代電池用電極材料の高エネルギー密度、高出力化
발행사 : 기술정보협회 | 발행일 : 2017-11-30 | 가격 : ¥ 80,000 -> 960,000원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 602 페이지 | ISBN/CODE :
카본 블랙을 잘 사용하는 처방전~종류, 제법 용도에서 최첨단 기술까지~
カーボンブラックを上手に使用する処方箋
발행사 : 알앤디지원센터 | 발행일 : 2017-10-31 | 가격 : ¥ 64,000 -> 768,000원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 386 페이지 | ISBN/CODE :
이종 자재 접착, 접합 기술과 멀티 머티어리얼화-접합 방법, 접합 메커니즘, 계면 제어, 강도 평가-
異種材料の接着・接合技術とマルチマテリアル化
발행사 : 기술정보협회 | 발행일 : 2017-10-31 | 가격 : ₩ 80,000 Hard Copy Version ₩ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 633 페이지 | ISBN/CODE :
이종 자재 접착, 접합 기술과 멀티 머티어리얼화 - 접합 방법, 접합 메커니즘, 계면 제어, 강도 평가-
異種材料の接着・接合技術とマルチマテリアル化
발행사 : 기술정보협회 | 발행일 : 2017-10-31 | 가격 : ¥ 80,000 -> 960,000원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 633 페이지 | ISBN/CODE :
플라스틱 성형 재료 상거래 편람 2018년판(개정 제34판)
プラスチック成形材料商取引便覧 2018年版(改訂第34版)
발행사 : 화학공업일보사 | 발행일 : 2017-08-01 | 가격 : ¥ 16,200 -> 194,400원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 830 pages | ISBN/CODE :
부직포 기술과 시장
不織布の技術と市場
발행사 : 씨엠씨출판 | 발행일 : 2017-08-01 | 가격 : ¥ 91,800 -> 1,101,600원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 270 페이지 | ISBN/CODE :
플렉시블 열전 변환 자재 개발과 응용
フレキシブル熱電変換材料の開発と応用
발행사 : 씨엠씨출판 | 발행일 : 2017-07-31 | 가격 : ¥ 82,080 -> 984,960원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 254 페이지 | ISBN/CODE :
졸 - 겔 기술의 최신 동향
ゾル-ゲルテクノロジーの最新動向
발행사 : 씨엠씨출판 | 발행일 : 2017-07-28 | 가격 : ¥ 92,880 -> 1,114,560원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 416 페이지 | ISBN/CODE :
플라즈마 산업 응용 기술 - 표면 처리에서 환경, 의료, 바이오, 농업 용도까지 -
プラズマ産業応用技術―表面処理から環境,医療,バイオ,農業用途まで―
발행사 : 씨엠씨출판 | 발행일 : 2017-07-28 | 가격 : ¥ 90,720 -> 1,088,640원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 321 페이지 | ISBN/CODE :
증보판 고분자 재료 시뮬레이션 ― OCTA활용 사례집 ―
増補版 高分子材料シミュレーション ― OCTA活用事例集 ―
발행사 : 화학공업일보사 | 발행일 : 2017-07-11 | 가격 : ¥ 16,200 -> 194,400원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : 398 페이지 | ISBN/CODE :
양자점 재료 의 기술과 응용 전개
量子ドット材料の技術と応用展開
발행사 : 정보기구 | 발행일 : 2017-06-30 | 가격 : ¥ 52,000 -> 624,000원 Hard Copy Version ¥ 0 PDF Version | 저자 : | 체제 : B5, 200 Page | ISBN/CODE :
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